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型號:
SCTS-2000系型雙電測四探針測試儀

描述:SCTS-2000系型雙電測四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高正確度,特

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間

    2025-04-21
  • 訪問量

    1145
詳細(xì)介紹
品牌Microtrac MRB/拜爾應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天,汽車及零部件,電氣

SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀

關(guān)鍵詞:雙電測,導(dǎo)電薄膜,導(dǎo)體


SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高正確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

一、主要特點(diǎn):

1、根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;

2、也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。

3、換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。

4、由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。

      

二、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測量范圍

    電阻率:1×10-42×105 Ω-cm,分辨率:1×10-51×102 Ω-cm

    方  阻:5×10-42×105 Ω/□,分辨率:5×10-51×102 Ω/

    電  阻:1×10-52×105 Ω   ,分辨率:1×10-61×102 Ω

3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)

    直   徑:圓測試臺直接測試方式 Φ15130mm,手持方式不限

    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.

    長()度:測試臺直接測試方式 H100mm,    手持方式不限.

    測量方位軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表:

    (1)量程: 20.00mV2000mV

    (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±

3.4  數(shù)控恒流源

   (1)量程:0.1μA,1μA,10μA100μA,1mA,10mA,100mA1A

   (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±

3.5  四探針探頭(選配其一或加配全部)

   (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 02kg 可調(diào)

   (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 00.6kg 可調(diào)

3.6 電源

   輸入: AC 220V±10% ,50Hz          耗:<20W

3.7 外形尺寸:

   主機(jī)  220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)



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